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《微電子千級(jí)潔凈室振動(dòng)隔離技術(shù)深度解析》

作者：點(diǎn)擊：495 發(fā)布時(shí)間：2025-06-19

光刻機(jī)要求環(huán)境振動(dòng)速度≤1μm/s。某晶圓廠(chǎng)采用：①160mm厚混凝土浮筑地板（固有頻率≤8Hz）；②空氣彈簧隔震器（隔振效率≥95%）；③設(shè)備基座加裝惰性塊（質(zhì)量比1:1.5），終將振動(dòng)控制在0.7μm/s

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